Qual é a finalidade da limpeza do wafer de silício?

Os wafers de silício devem ser rigorosamente limpos na produção de dispositivos semicondutores. A contaminação por vestígios também pode levar à falha do dispositivo. Então, qual é o propósito da limpeza do wafer de silício?
O objetivo da limpeza do wafer de silício é remover impurezas de contaminação da superfície, incluindo substâncias orgânicas e inorgânicas. Algumas dessas impurezas existem no estado atômico ou iônico, e algumas existem na forma de filmes finos ou partículas na superfície da pastilha de silício. levar a vários defeitos.