Silício SOI no isolador

Silício SOI no isolador

SOI significa silício sobre isolante. Um wafer SOI é composto de 3 camadas básicas, uma camada de dispositivo, uma camada BOX e uma camada Handle. A camada BOX, também chamada de camada Buried Oxide, fica presa entre a camada Device e a camada Handle.
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SOI significa silício sobre isolante. Um wafer SOI é composto de 3 camadas básicas, uma camada de dispositivo, uma camada BOX e uma camada Handle. A camada BOX, também chamada de camada Buried Oxide, fica presa entre a camada Device e a camada Handle.

 

Os transistores se formam na camada superior do dispositivo, que é o centro da velocidade e eficiência do wafer SOI. Esses transistores não são apenas excelentes quando se trata de conservação de energia, mas também são protegidos de fatores externos, como raios cósmicos e interferências radioativas, levando à redução da perda de dados.

 

Os wafers de silício SOI são ideais para CIs de alto desempenho, como microprocessadores, porque fornecem uma base mais estável e confiável para o circuito. Além disso, eles são adequados para dispositivos de comunicação sem fio, que requerem baixo consumo de energia e transferência de dados em alta velocidade para funcionarem de forma eficiente.

 

No geral, os wafers de silício SOI oferecem vantagens significativas em relação aos wafers de silício tradicionais, tornando-os um componente crítico na fabricação de eletrônicos modernos.

 

Podemos fornecer diâmetro de 2"-12", espessura superior de silício de 55nm-500um, espessura da camada de oxigênio enterrada de 175nm-16um.

 

A Sibranch oferece wafers SOI dos seguintes tipos:

Bolacha SOI espessa

Este tipo de wafer possui espessura de dispositivo de 1 µm a 300 µm.

 

Wafer SOI ultrafino

Este tipo de wafer tem espessura de dispositivo<500nm.

 

Wafer SOI ultrauniforme

A uniformidade da espessura do dispositivo pode ser tão baixa quanto ±00,5 µm para SOI espesso e ±10 nm para SOI ultrafino.

 

Wafer SOI ultraplano

Este tipo de SOI possui BOW/WARP/TTV muito baixo para aplicações específicas.

 

Diâmetro

76, 100mm, 125mm, 150mm, 100mm, 300mm

Espessura do dispositivo e tolerância máxima

76 mm, 100 mm, 125 mm e 150 mm

2-50 +/- .5μm, 0.1~1+/- .025μm

50-150 +/- 1μm

>150 +/- 2μm

6-50 +/- .5μm

200 milímetros

50-150 +/- 1μm

>150 +/- 2μm

 

Espessura da Camada de Óxido

Padrão – 0,5μm, 1μm e 2μm

Opcional – 0,1 – 10μm

Lidar com a espessura do wafer

3", 100mm – 300μm e superior

125 mm, 150 mm – 400 μm e superior

200mm – 500μm e superior

Tolerância: Padrão +/- 25μm

Especial +/- 5μm

Dopantes

Tipo N – Fósforo, Arsênico e Antimônio

Tipo P – Boro

Resistividades

A maioria das resistividades disponíveis mediante solicitação, incluindo Zona Flutuante de alta resistividade e CZ de baixa resistividade

Orientação

<1-0-0>Padrão,<1-1-1>e<1-1-0>Opcional sob consulta

Tolerância padrão +/- 0,5 grau

Tolerância especial tão baixa quanto +/- 0,1 grau

Orientação plana

Todos os principais apartamentos/entalhes estão no<110>Plano +/- 0,5 graus

Especificações mais rigorosas disponíveis mediante solicitação

Flats menores semi-padrão são padrão em 76,2 e 100 mm

Terminar

Padrão polido dupla face

Acabamentos traseiros opcionais – nano moagem ou óxido

Revestimentos

Óxido e nitreto podem ser fornecidos em ambos os lados do wafer.

Camada enterrada implantada com íon opcional

Uma camada enterrada pode ser implantada na camada ativa na interface de ligação. Verifique se o dopante desejado, a concentração de dopante e as energias desejadas estão disponíveis. Este serviço é fornecido por um contratante externo.

 

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Nosso objetivo é fornecer aos clientes suporte individual e abrangente, garantindo canais de comunicação tranquilos, profissionais, oportunos e eficientes. Oferecemos uma quantidade mínima de pedido baixa e garantimos uma entrega rápida em 24 horas.

 

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Nosso certificado

 

Nossa empresa se orgulha das diversas certificações que conquistamos, incluindo nosso certificado de patente, certificado ISO9001 e certificado National High-Tech Enterprise. Essas certificações representam nossa dedicação à inovação, gestão da qualidade e compromisso com a excelência.

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