Qual é a uniformidade da deposição de filme fino?
Uniformidade de filme fino refere-se à consistência da distribuição de espessura do filme fino por todo o wafer. Boa uniformidade significa que a espessura do filme fino é muito próxima em cada posição no wafer.
Quais são os tipos de uniformidade de película fina?
Geralmente, os seguintes tipos são considerados:
●Uniformidade dentro da bolacha: Uniformidade dentro de uma única pastilha.
●Uniformidade de wafer para wafer: Uniformidade entre diferentes wafers.
●Uniformidade de lote para lote: Uniformidade entre diferentes lotes de wafers.
Como a uniformidade é calculada?
Tomando como exemplo a uniformidade dentro da pastilha, seu desvio padrão é calculado usando a fórmula:
Esta fórmula calcula a raiz quadrada da média das diferenças quadradas entre cada ponto de dados e a média dos dados.
σ (desvio padrão): Representa o grau de dispersão dos dados; quanto maior o desvio padrão, maior a dispersão.
N: O número total de pontos de dados medidos.
você: O valor de espessura do iésimo ponto de dados.
Significar: O valor médio de todos os pontos de dados.
(ti−Média)^2: A diferença quadrada entre cada ponto de dados e a média.
∑: Soma.
A fórmula é um pouco difícil de entender, então aqui vai um exemplo:
Suponha que temos um conjunto de pontos de dados de espessura de filme fino: 55,1, 54,8, 55,3, 54,9, 55.0, 54,7, 55,2, 54,9, 55,1, 54,8.
●Primeiro, calcule a média desses 10 pontos: Média=54.98.
●Em seguida, calcule a diferença quadrada entre cada espessura e a média: {{0}}.0144, 0.0324, {{10}}.1024, 0.0004, 0,0004, 0,0784, 0,0484, 0,0004, 0,0144, 0,0324.
●Some essas diferenças ao quadrado e encontre a média: (0.0144 + 0.0324 + 0.1024 + 0.0004 + 0.0004 + 0.0784 + 0.0484 + 0.0004 + 0.0144 + 0.0324)=0.3996.
●Por fim, calcule o desvio padrão: σ=0.193.
