Onde as almofadas de polimento de wafer de silício são usadas?

Os wafers polidos são o produto mais utilizado, e outros produtos de wafers de silício são produzidos por processamento secundário com base em wafers polidos.
Os wafers polidos são os wafers de silício mais básicos e amplamente utilizados. Os wafers polidos podem ser usados ​​diretamente para fazer dispositivos semicondutores, amplamente utilizados em chips de memória e dispositivos de energia, e também podem ser usados ​​como materiais de substrato para wafers epitaxiais, wafers de silício SOI e outros tipos de wafers de silício.
Com o encolhimento contínuo da largura da linha característica dos circuitos integrados e a precisão cada vez maior da litografia, a irregularidade extremamente pequena na pastilha de silício causará a deformação e deslocamento dos gráficos do circuito integrado. A tecnologia de fabricação de wafers de silício enfrenta requisitos e desafios cada vez maiores. O tamanho e a limpeza das partículas da superfície do chip também têm um impacto direto no rendimento dos produtos semicondutores.
Portanto, o processo de polimento é muito importante para melhorar o nivelamento e a limpeza da superfície da pastilha de silício. O princípio principal é alcançar a planarização da superfície do wafer de silício semicondutor e reduzir a rugosidade removendo a camada de dano residual na superfície processada.